1、结构简单；
2、 行动所需的能量低。由于带电板之间的静电引力很小，电容式传感器特别适合解决低输入能量的测量问题；
3、 良好的动态特性，电容传感器的相对变化仅受线性和其他实际条件的限制。如果使用高线性电路，电容变化可以达到100%或更大；
4、较小的自然效应；
5、动态响应快以及能在恶劣的环境下工作。但由于电容传感器的初始电容较小，受引线电容、寄生电容的干扰影响较大；另一方面电容传感器输出特性为非线性。
